文章标题：应用于MEMS加速度计的小型恒温系统的实现

文章作者：李建飞1) 薛 兵1) 张俊峰2) 朱小毅1) 王晓蕾1)
关 键 字：恒温系统；MEMS加速度计；零点漂移；低功耗
文章摘要：介绍一种小型恒温系统的实现方法，使MEMS加速度计的工作区域温度保持恒定，从而改善MEMS加速度计的相关技术指标。小型恒温系统采用独特工艺，实现简单；恒温点可以根据环境温度的变化而改变，以降低功耗。实验结果表明，应用该系统的MEMS加速度计，由温度所引起的零点漂移值明显减小。